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  预湿机抽检传送动作流程： 玻璃经过预湿机需求抽检时，经过进口磁性传感 器传送带开端减速，当玻璃经过中心一侧的磁性 传感器时，传送滚轮中止，一起气缸带动机架上 升20mm中止，笔直传送滚轮开端运转，此传感 器检测到玻璃脱离后，机架开端下降，回到原位， 水平传送带又开端水平运送玻璃。

  （2）喷淋设备上面6排喷嘴，下面有5排喷嘴。 （3）10#水箱供水，供水管道设备有0.2μm过滤器，水箱设备有加热设备， 有温度传感器，装有4个光电液位传感器。 （4）清洗是18MΩ超纯水，温度要求40-45℃。 （5）用过的超纯水经过滤后供二流体2运用。

  80mm左右。  二流体二上面4排下面3排喷淋管。  上下各1个二流体喷淋体，二流体喷体上进入处有5个孔，别离通入CDA和DI Water ，喷口 处为0.1mm液刀口。

  意图：基板经过切开裂片后，在玻璃外表简单残留 玻璃碎屑，清洗的首要意图是在短时间内将玻璃碎 屑冲掉，防止玻璃屑从头附着在基板上，构成玻璃 异物，不简单去除。

  刷毛：Φ=0.1mm，尼龙原料。 上下盘刷：穿插1~2mm。 升降调理方法：锥齿轮螺旋升降前后同步。 驱动方法：沟通变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动 为直流电机。 盘刷：直径85mm。 转速：200～300r/min（可调）。

  该区和输入传送带相同设有气缸定位设备，另一个功用是 设有离子风棒去除玻璃外表的静电，离子风泵选用的是放电

  清洗进程 意图 除掉有机物 特征 使用界面活性剂产 生亲水性及亲油性 除掉油脂 基板便面直接冲突 使用空气与水混合 后，在基板外表产 生气体爆破 使用液体在基板上 发生共振效果 除掉外表液体

  纯水循环使用： 终究喷淋 终究喷淋 二流体二 滚刷 二流体一 二流体二 滚刷回水回水 二流体一回水

  清洗水是使用二流体2运用后的废水，8号水箱供水。 滚刷转速：400~500r/min。

  WDT：预湿机 CLE1：输入传送带 CLE2：盘刷清洗 CLE3：超声波清洗 CLE4：二流体清洗1 CLE5：滚刷清洗 CLE6：二流体清洗2 CLE7：终究喷淋 CLE8：风刀枯燥 CLE9：输出传送带

  三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通 过期，两边的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来纠正玻璃的方位。

  预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋设备、护罩、水槽、升降组织。 水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。 抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。 小滚轮原料：UPE 。 大滚轮原料：POM。

  （2）滚轮的原料是尼龙，挡边轮原料是UPE。 （3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷滚动方向与玻璃前进方向相反。 （4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。

  （1）有两组风刀，风刀结构类似于液刀，上下各有一把风刀，刀风口0.1mm； （2）风刀角可调，每片上都有四个进风口，风刀与水平面的夹角20。 （3）为了防止风刀吹出的高速气流在该区发生涡流，在区域上设备了EFU高

  盘刷区还有喷淋设备，喷淋设备上的喷嘴方向能够调理， 上有压力表和调理阀门，还有观测流量计。 盘刷清洗水需参加清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提 供，因为参加了清洗剂废水不能被其他区域使用，只能自

  身循环使用，且水需求加热到40~45℃。清洗剂：PKLCG211，水的PH值为12~14。

  （2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 （3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。 （4）水箱有加热设备、浓度、温度传感器。 （5）水箱中有4个浮球式传感器查验测验液位。 （6）强碱性清洗剂，PH值12-14。

  升降组织是由气缸带动机架升降，周围有4个导向轴，上面是大滚轮。 喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。 共有4个传感器：进口、出口、中心两边。

  （1）水平传送部分：经过电机减速机带动大滚轮滚动，水平传送与预湿 机衔接处设有小滚轮过渡。 （2）翻转部分：经过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮滚动， 然后带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器查验测验玻 璃），架子下部设有2个缓冲器。

  （4）玻璃经过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行整理洗刷，上面有4排喷水 管，下面有3排喷水管，每排6个喷嘴。 （5）二流体1清洗用水使用的滚刷运用后的废水，7号水箱供水；二流体2 使用的是终究喷淋运用后的废水，9号水箱供水

  注：水槽内有两 个液位器，以保 证水的液面超越 玻璃的外表，玻 璃浸泡在水中清 洗B面。

  由超声波发生器宣布的高频振动信号，经过换能器转换成高频机械振动而传到达介 质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体活动而发生数以万 计的直径为50μm-500μm的细小气泡，这些气泡在超声波纵向传达的负压区构成、生 长，而在正压区敏捷闭合，在这种被称之为空穴效果的进程中，气泡闭合可构成几百 度的高温文超越1000个气压的瞬间高压，接二连三发生瞬间高压就像一连串小“爆 炸”不断地冲击物体外表，使物体的外表及缝隙中的尘垢敏捷脱落，从而到达物件表 面净化的意图。

  二流体清洗介绍： （1）二流体组成: 洁净压缩空气（CDA）和纯水（DI Water）的混合体。 （2）CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。 （3）上下各1个二流体喷淋体，长度830mm，二流体喷体上进入处有5个 孔，别离通入CDA和DI Water ，喷口处为0.1mm液刀口。